Интенсивное развитие цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля открывает возможности по автоматизации этого процесса для разрабатываемых и производимых изделий микроэлектроники с неоднородной структурой. В работе предложена классификация цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля по следующим критериям: способ формирования рентгеновского изображения, тип детектора, способ считывания рентгеновского изображения с детектора. Проведен анализ цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники и определены системы, наиболее восприимчивые к автоматизации.
1 - 1 из 1 результатов